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zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller

參   考   價(jià): 888

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地成都市

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更新時(shí)間:2025-04-18 15:28:32瀏覽次數(shù):485次

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產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 類型 高低溫試驗(yàn)箱
zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller,半導(dǎo)體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備。

zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller

半導(dǎo)體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù),并采用變頻控制及兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。


zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置,CMP(工藝機(jī)械拋光), 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制,智能PID控制
預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制,高效節(jié)能
兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制



zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller

溫度范圍:-20°C~+90°C

控溫精度:±0.1℃

觸摸屏操作,人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動(dòng)小





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