您好, 歡迎來到機床商務(wù)網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到機床商務(wù)網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當前位置：大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司>>大族激光-等離子清洗/除膠>> 晶圓等離子清洗機（等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預(yù)處理/介電質(zhì)刻蝕/晶圓凸點/有機污染去除/晶圓減?。?/p>
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
更新時間：2021-12-01 14:04:45瀏覽次數(shù)：1067次
聯(lián)系我時，請告知來自 機床商務(wù)網(wǎng)功能：
可清洗晶圓表面的顆粒、有機物、金屬雜質(zhì)、氧化物
特點：
1)相較于真空等離子，可以在常壓下工作
2)工作效率遠高于真空等離子
3)氬氣等離子輝光為低溫，不會破壞晶圓
| 序號 | 項目 | 規(guī)格參數(shù) |
| 1 | 電源電壓 | 220（±10%）VAC，50/60Hz |
| 2 | 電源需求 | 220VAC/10A以上， |
| 3 | 工作頻率 | 13.65MHz |
| 4 | 設(shè)備功率 | <3.2KW（依實際為準） |
| 5 | 氣源要求 | 根據(jù)產(chǎn)品選AR，N2，O2等氣體 |
| 6 | 壓縮空氣 | ≥0.3MPa（3kg/cm2） |
| 7 | 主機尺寸 | 1260(L)x600(W)x1980(H)mm |
| 8 | 等離子頭尺寸 | 400(L)x80(W)x60(H)mm |
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負責(zé)，機床商務(wù)網(wǎng)對此不承擔任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
機床商務(wù)網(wǎng)