SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗*力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>

 
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢,其特點是測量精度高、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設(shè)計一個精密導軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比。位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與SJ6000激光干涉儀(標準)對定長位移進行測試對比,得出往復測試實驗結(jié)果。實驗環(huán)境:室溫18℃;相對濕度:52%RH;氣壓:754mmHg給出的位移檢定系統(tǒng)的讀數(shù)與激光干涉儀讀數(shù),其差值小于±2.0um,這一誤差*預(yù)期的研究指標要求(不大于±2.5u m)。