本司主要做的激光焊接設(shè)備：應(yīng)用的激光器主要為：光纖激光器，YAG激光器。

光纖激光器從應(yīng)用的場(chǎng)景主要分為：標(biāo)準(zhǔn)四軸激光焊接機(jī)，機(jī)器人激光焊接機(jī)，手持激光焊接機(jī)，非標(biāo)定制等。

YAG激光器從應(yīng)用場(chǎng)景主要分為：標(biāo)準(zhǔn)四軸工作臺(tái)激光焊接機(jī)，機(jī)器人激光焊接機(jī)，手動(dòng)激光焊接機(jī)，非標(biāo)定制等。

光纖激光器和YAG激光器的應(yīng)用場(chǎng)景基本一樣，主要是焊接的產(chǎn)品的要求效果有較大的差別。

光纖激光器焊接速度快（20---30MM/S），功率大（500W---6000W），深寬比大（焊接材料的厚度0.5---5MM），適用于常規(guī)焊縫的縫焊拉焊的場(chǎng)合，可焊接碳鋼，不銹鋼，鍍鋅板，銅，鋁等常見材料。

YAG激光器，焊接速度較慢（8—10mm/S），功率較?。?span>200W—600W），焊接的材料的厚度（0.2—1.2mm）適用于薄板的縫焊，穿透焊，點(diǎn)焊，熱影響小，焊接精準(zhǔn)。

半導(dǎo)體晶圓載具激光焊接設(shè)備技術(shù)深度解析

半導(dǎo)體晶圓載具作為芯片制造過程中的關(guān)鍵承載部件，其制造工藝直接關(guān)系到晶圓生產(chǎn)的良率和設(shè)備穩(wěn)定性。以下是針對(duì)半導(dǎo)體晶圓載具激光焊接技術(shù)的全面分析：

一、核心技術(shù)指標(biāo)

1. 潔凈度控制

• 顆?？刂疲盒铦M足ISO Class 1標(biāo)準(zhǔn)（≥0.1μm顆?！?個(gè)/m3）

• 金屬污染：Na、K等元素含量＜1E10 atoms/cm2（通過ICP-MS檢測(cè)）

2. 尺寸穩(wěn)定性

• 熱變形量：ΔL/L＜1ppm/℃（150℃環(huán)境下）

• 平面度：≤0.005mm/200mm（晶圓接觸區(qū)域）

3. 材料特性

• 靜電控制：表面電阻1E6-1E9Ω（防靜電要求）

• 釋氣率：TML＜0.1%，CVCM＜0.01%（NASA標(biāo)準(zhǔn)）

二、焊接工藝

1. 超潔凈激光焊接系統(tǒng)

• 配置HEPA過濾系統(tǒng)（U15等級(jí)）

• 集成在線等離子清洗模塊

• 局部環(huán)境控制（氧含量＜10ppm）

2. 特種焊接技術(shù)

• 真空激光焊（10??P）

• 低溫激光焊（基板溫度＜80℃）

• 納米銀燒結(jié)（用于異種材料連接）

3. 過程監(jiān)控系統(tǒng)

• 實(shí)時(shí)熔池監(jiān)測(cè)（高速CCD 10000fps）

• 光譜分析（等離子體監(jiān)測(cè)）

• 熱像儀溫度場(chǎng)控制（±2℃精度）

三、材料解決方案

四、質(zhì)量驗(yàn)證體系

1. 破壞性測(cè)試

• 高溫高濕測(cè)試（120℃/85%RH/1000h）

• 化學(xué)耐受性（DHF/SC1/SC2浸泡）

• 機(jī)械疲勞（＞1E6次循環(huán)）

2. 非破壞檢測(cè)

• 同步輻射CT（亞微米缺陷識(shí)別）

• 太赫茲波檢測(cè)（多層結(jié)構(gòu)分析）

• 原子力顯微鏡（表面形貌3D重建）

五、技術(shù)進(jìn)展

1. 智能焊接系統(tǒng)

• 基于深度學(xué)習(xí)的工藝參數(shù)優(yōu)化

• 數(shù)字孿生實(shí)時(shí)仿真

• 自適應(yīng)路徑規(guī)劃（誤差補(bǔ)償＜5μm）

2. 新型材料應(yīng)用

• 碳化硅陶瓷載具激光連接

• 石墨烯增強(qiáng)復(fù)合材料焊接

• 超疏水表面一體化成型

六、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用案例

1. EUV光刻載具

• 材料：低膨脹玻璃陶瓷

• 工藝：飛秒激光焊接

• 成果：熱變形＜0.3nm/cm

2. 3D NAND多層載具

• 創(chuàng)新點(diǎn)：Z向50層精密連接

• 技術(shù)：激光誘導(dǎo)自蔓延焊接

• 良率提升：98.5%→99.99%

七、技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)

1. 原子級(jí)制造融合

• 激光分子束外延

• 選區(qū)原子沉積

• 量子點(diǎn)精準(zhǔn)排布

2. 綠色制造

• 無鎘焊料開發(fā)

• 能耗降低30%的新光源

• 廢料回收率＞99.9%

設(shè)備配置表

1.光源系統(tǒng)：采用連續(xù)激光器（光纖激光器）

2.運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)：配備三軸伺服（松下）運(yùn)動(dòng)控制外加定制化工裝夾具

3.激光聚焦系統(tǒng)：萬順興雙擺焊接頭

4.冷卻系統(tǒng)：搭配了博鼎3.0P雙溫雙控冷卻水機(jī)

5.其他輔助系統(tǒng)：焊接檢測(cè)系統(tǒng).（實(shí)時(shí)檢測(cè)焊接效果）、能量檢測(cè)系統(tǒng)(實(shí)時(shí)檢測(cè)能量波動(dòng))、激光校準(zhǔn)系統(tǒng)：（校準(zhǔn)激光焦距）

設(shè)備優(yōu)勢(shì)：

1.速度是YAG（脈沖焊機(jī)）激光焊接的4-10倍

2.10:1的焊接深寬比，焊點(diǎn)光滑美觀，焊縫強(qiáng)度韌性相當(dāng)甚至超過母體材料

3.電光轉(zhuǎn)換率高，能耗低

4.設(shè)備穩(wěn)定，可連續(xù)24小時(shí)工作

5.相對(duì)于YAG（脈沖焊機(jī)），定制成客戶要求的機(jī)型更容易。

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體晶圓載具激光焊接設(shè)備適合焊接金銀鈦鎳錫銅鋁等金屬及其合金材料，可實(shí)現(xiàn)同種金屬和異種金屬間的精密焊接，已廣泛應(yīng)用于航空設(shè)備，船舶制造.儀器儀表，機(jī)電產(chǎn)品，汽車制造，新能源電池，鈑金箱體，衛(wèi)浴，廚具，家用電器，汽車配件，燈飾，機(jī)械，數(shù)碼產(chǎn)品等方面

服務(wù)體系

售前服務(wù)體系：

1.免費(fèi)質(zhì)詢有關(guān)激光焊接任何方面的問題、免費(fèi)提供焊接打樣和專業(yè)的焊接工藝講解。

2.針對(duì)各種行業(yè)我們提供完整的自動(dòng)化激光應(yīng)用解決方案

3.行業(yè)專用配套激光設(shè)備的非標(biāo)定制

4.提供專業(yè)的激光焊接應(yīng)用解決方案設(shè)備免費(fèi)保修一年，終身維護(hù)免費(fèi)技術(shù)咨詢、軟件升級(jí)等服務(wù)

5.提供定期檢修服務(wù)，檢查機(jī)器的運(yùn)行情況以技術(shù)為源以產(chǎn)品為本實(shí)現(xiàn)客戶終身價(jià)值

售后服務(wù)體系:

1.售后服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍布各地。

2.客戶響應(yīng)時(shí)間2小時(shí)內(nèi)，到達(dá)維修現(xiàn)場(chǎng)不超過48小時(shí)。

3.技術(shù)維修服務(wù)人員均具有3年以上的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。

4.設(shè)備免費(fèi)保修一年。

5.終身維護(hù)免費(fèi)技術(shù)咨詢。

6.軟件升級(jí)等服務(wù)。

7.提供定期檢修服務(wù)，檢查機(jī)器的運(yùn)行情況以技術(shù)為源以產(chǎn)品為本實(shí)現(xiàn)客戶終身價(jià)值