SuperViewW1光學(xué)輪廓測量儀讓輪廓測量價格變實(shí)惠，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、臺階高度、表面缺陷、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結(jié)果組成

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

SuperViewW1光學(xué)輪廓測量儀采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準(zhǔn)的臺階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對儀器的檢測精度和重復(fù)性進(jìn)行驗收，其中臺階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復(fù)精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差）。載物臺尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）；測量的Z向范圍可達(dá)10mm（2.5X鏡頭），Z向的精度高達(dá)0.1nm。測量大尺寸樣品時支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。