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工件表面質(zhì)量的好壞直接影響其使用壽命和使用性能，隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和社會的發(fā)展，人們對于工件表面質(zhì)量的要求越來越高，表面形貌測量技術(shù)也隨之快速發(fā)展。

 

1929年，德國的G．Schmaltz先對表面微觀不平度的參數(shù)進(jìn)行了定量的測量，隨后出現(xiàn)了一些基于機械和光學(xué)方法實現(xiàn)信號轉(zhuǎn)換的表面特征記錄儀器。

 

1936年，美國的E J．Abbott研制成功*臺車間用的測置表面粗糙度的輪廓儀。

 

1940年，英國Taylor -Hobson公司研制成功了觸針式表面輪廓測量儀Talysurf。

 

1970年，Meadows提出了基于光學(xué)條紋圖分析原理的測量技術(shù)，通過提取條紋圖中的相位信息，從而獲取物體表面形貌。表面測量技術(shù)的發(fā)展過程由zui初的機械觸針接觸式測量發(fā)展到光學(xué)非接觸測量，由觸針逐點測量發(fā)展到光學(xué)多采樣點測量。

 

1982年，Binning和Rohrer研制成功了世界上*臺掃描隧道顯微鏡（STM）。STM基于量子隧道效應(yīng)，通過檢測隧道電流來獲取表面形貌，具有高的測量分辨率，能觀察到物質(zhì)表面排列的單個原子。

 

1986年，Binning、Quate等人在STM的基礎(chǔ)上發(fā)明了原子力顯微鏡(AFM)。AFM的出現(xiàn)，使觀察物質(zhì)表面的原子形態(tài)和排布成為可能，在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)上有著十分重大的意義。

 

目前，表面形貌測量方法中，機械觸針式測量、顯微干涉測量和SPM技術(shù)在科學(xué)研究和工業(yè)域應(yīng)用。這三種方法都能達(dá)到較高的測量分辨率和精度，而且均有性能較好的商用儀器被開發(fā)出來。

 

中圖儀器推出的SJ5701粗糙度輪廓測量儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器；采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精度研磨導(dǎo)軌、高性能測力系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)對各種工件表面粗糙度和輪廓進(jìn)行測量和分析。

 

SJ5701粗糙度輪廓測量儀主要技術(shù)指標(biāo)：

粗糙度測量：

測量范圍：X軸200mm，Z1軸±80µm /±40µm /±20µm；

示值誤差：±5%；

分辨率：Z1軸0.04µm(±80µm), 0.02µm(±40µm), 0.01µm(±20µm)。

輪廓測量：

X軸：

測量范圍：0～200mm；

示值誤差：±(0.8+2L/100)um，其中L為水平測量長度，單位：mm；

分辨率：0.01um。

傳感器Z1軸：

測量范圍：±25mm；

示值誤差：±(1.6+|2H|/100)um，其中H為垂直測量高度，單位：mm；

分辨率：0.01um。