wyko nt9100光學(xué)輪廓儀-參數(shù)、特點(diǎn)、功能、應(yīng)用 -veeco華東總代理

nt9100光學(xué)輪廓儀是一款使用便利、性能，性?xún)r(jià)比高的非接觸無(wú)損傷三形貌維測(cè)量?jī)x器。wyko的第九代系統(tǒng)采用*的雙led照明光源技術(shù)，能夠更好的檢測(cè)超光滑表面及非常粗糙的表面；它的測(cè)量范圍可達(dá)亞納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的臺(tái)階高度。作為第九代白光干涉儀的桌面機(jī)臺(tái)，nt 9100同樣具有大機(jī)臺(tái)才有的優(yōu)點(diǎn)：簡(jiǎn)單易用的操作方式、快速數(shù)據(jù)獲取能力、強(qiáng)大的軟件功能及埃級(jí)的重現(xiàn)性等。同時(shí)，可選配的x-y自動(dòng)平臺(tái)，使nt9100具有程序化處理樣品的功能。

wyko nt 9100光學(xué)輪廓儀是一款便捷的、精確的、實(shí)用的非接觸三維形貌測(cè)量系統(tǒng)。作為第九代系統(tǒng)，它采用已申請(qǐng)的雙光源照明技術(shù)，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了對(duì)超光滑表面和粗糙表面進(jìn)行非接觸表征，應(yīng)用范圍涵蓋了亞納米量級(jí)粗糙度測(cè)量到毫米尺度臺(tái)階高度測(cè)量。作為行業(yè)內(nèi)的及重現(xiàn)性的桌面式機(jī)臺(tái)，nt9100可滿足研發(fā)、磨損分析、失效分析及工藝控制等領(lǐng)域的需求。

作為nt 9000光學(xué)輪廓儀系列的臺(tái)式型號(hào)，nt9100具有許多和大型機(jī)臺(tái)一樣的優(yōu)點(diǎn)，包括：測(cè)量設(shè)置簡(jiǎn)單易學(xué)，高速數(shù)據(jù)采集能力，強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析能力以及0.1納米量級(jí)的測(cè)試重復(fù)精度?？蛇x配的x-y自動(dòng)樣品臺(tái)使nt9100實(shí)現(xiàn)程序化，這是在wyko桌面式輪廓儀系列的*應(yīng)用。

nt9100的量測(cè)性能與其他nt9000系列產(chǎn)品相當(dāng)，但其較小的尺寸及靈活的配置為用戶(hù)將來(lái)的發(fā)展提供了基礎(chǔ)。系統(tǒng)包含了完整版的vision分析軟件，該軟件是行業(yè)內(nèi)功能zui全的分析軟件，可實(shí)現(xiàn)二維和三維的數(shù)據(jù)分析及可視化功能。vision軟件為用戶(hù)提供了200余種分析工具，包括自動(dòng)測(cè)序功能、數(shù)據(jù)記錄和實(shí)時(shí)反饋及統(tǒng)計(jì)控制過(guò)程的合格/不合格標(biāo)準(zhǔn)。用戶(hù)采用可選的matlab® 軟件包還可以定制專(zhuān)門(mén)的數(shù)據(jù)分析用戶(hù)界面。

創(chuàng)新點(diǎn)

1.采用高壽命綠光及白光leds
2.垂直測(cè)量范圍達(dá)0.1nm至10mm
3.垂直掃描速度zui快可達(dá)24微米/秒
4.光學(xué)分辨率zui小可達(dá)0.49微米
5.可選配x-y自動(dòng)樣品臺(tái)

技術(shù)參數(shù)

1、縱向掃描范圍：0.1nm~1mm （標(biāo)配）
2、zui大掃描速度：24um/s
3、樣品臺(tái)尺寸：100mm