今日焦點
往期回顧
2026第47屆無錫太湖國際機床及智能工業(yè)裝備產(chǎn)業(yè)博覽會
2025-04-01
展會專題
活動專題
展會專題
展會專題
活動專題 【機床商務(wù)網(wǎng)欄目 企業(yè)參展】9月25日，第十二屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(CSEAC 2024)在無錫太湖國際博覽中心舉行。
匯專攜半導(dǎo)體行業(yè)超聲高效加工解決方案精彩亮相，與新老客戶共同分享半導(dǎo)體設(shè)備及核心部件行業(yè)的最新加工技術(shù)和方案，探討合作機會。
1
創(chuàng)新產(chǎn)品 集結(jié)亮相
此次，匯專帶來了超聲數(shù)控機床、超聲技術(shù)、精密刀柄、超硬刀具、精密轉(zhuǎn)臺等系列核心技術(shù)產(chǎn)品，以及多晶硅柵極環(huán)、石英玻璃光纖預(yù)制棒、鋁基碳化硅M2.5螺紋孔樣件等特色工件。
匯專展臺
同時，展臺特設(shè)超聲振動體驗專區(qū)，通過直觀的演示和互動體驗，讓觀眾親身感受、體驗匯專超聲技術(shù)的原理和加工優(yōu)勢，吸引了眾多客戶的關(guān)注與咨詢。
超聲振動體驗專區(qū)
2
高效方案 現(xiàn)場體驗
匯專帶來的半導(dǎo)體硬脆材料超聲高效加工解決方案，尤其受到關(guān)注。半導(dǎo)體工件的材料一般以單晶硅、多晶硅、碳化硅、石英玻璃、陶瓷、鋁基碳化硅等硬脆性材料為主，加工時，普遍存在工件易崩缺、刀具壽命低、加工效率低等加工難點。
匯專融合自主研發(fā)的超聲數(shù)控機床、超聲加工技術(shù)、整體PCD刀具，為半導(dǎo)體行業(yè)客戶量身定制專業(yè)的整體加工方案，成功解決了半導(dǎo)體硬脆材料微小孔、深孔加工等難題，并且能有效幫助客戶縮短加工時間、改善工件質(zhì)量、提高產(chǎn)品良率，實現(xiàn)連續(xù)穩(wěn)定加工。
案例1：單晶硅噴淋盤鉆孔加工
單晶硅作為硬脆性材料，加工過程容易產(chǎn)生崩缺，同時該工件孔深徑比高達(dá)55:1，加工難度非常大。使用匯專超聲精密雕銑加工中心ULM-600，搭配超聲加工技術(shù)及整體PCD微鉆，可連續(xù)加工超過2,000個D0.45x24.75mm的超深微孔（深徑比 55:1）；盲孔加工，入口處目視無崩缺；孔真圓度達(dá)0.003mm；孔壁粗糙度從Sa6.54μm降低至0.013μm，降低99.8%。
案例2：多晶硅柵極環(huán)加工
芯片加工中常用的多晶硅零部件，由于加工工序繁多，材料去除量大，而且對工件表面質(zhì)量和每個結(jié)構(gòu)之間的公差要求比較高，這要求生產(chǎn)企業(yè)具備極高的機加工水平。
以多晶硅柵極環(huán)加工為例，采用傳統(tǒng)加工方式進(jìn)行加工，加工效率低，且加工時槽口容易崩缺，導(dǎo)致產(chǎn)品報廢率高。
匯專方案使用超聲精密雕銑加工中心ULM-600，搭配超聲加工技術(shù)和科益展DDR立式高速轉(zhuǎn)臺，順利地解決了客戶的加工難題。加工過程中，超聲輔助加工更穩(wěn)定，切削阻力低，提高了加工效率。同時，還降低了工件表面的粗糙度，減少崩缺和裂紋，并有效提升內(nèi)圓真圓度。
3
多種應(yīng)用 優(yōu)勢明顯
除了在半導(dǎo)體行業(yè)中的成功應(yīng)用，匯專超聲數(shù)控機床還可解決各種難加工材料的加工難點和痛點，滿足3+A優(yōu)勢應(yīng)用場景，對硬脆材料、復(fù)合材料、難加工金屬材料三種材料的各種加工形式均具有明顯優(yōu)勢，同時對PEEK、鑄鐵、鋁合金、鈦合金、HRC56模具鋼、碳/陶復(fù)合、藍(lán)寶石、碳化硅等所有材料的孔類加工均優(yōu)勢明顯。
更多精彩案例及產(chǎn)品
敬請繼續(xù)關(guān)注9月26-27日
無錫太湖國際博覽中心B1-T254匯專展位
所有評論僅代表網(wǎng)友意見，與本站立場無關(guān)。